1.定位精度高 ： 使用线性滑轨作为线性导引时，由于线性滑轨的摩擦方式为滚动摩擦，不仅摩擦系数降低至滑动导引的1/50，动摩擦力于净摩擦力的差距亦变的很小。因此当床台运行时，不会有打滑的现象发生，可达到um级的定位精度。                     2.磨耗少能长时间维持精度：传统的滑动引导，无可避免的会因油膜逆流作用造成平台运动精度不良，且因运动时间滑动不充分，导致运行轨道接触面的磨损，严重影响精度，而滚动引导的磨损则非常少。故台机能长时间的维持精度。

3.使用高速运动且大幅度降低机台所需驱动马力： 由于线性滑轨移动时摩擦力非常小，只需较小动力便能让床台移动，尤其是在床台的工作方式为经常性往返运行时，更能明显降低机台电力损耗量。且因其摩擦产生的热较小，可适用于高速运行。